中國科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(http://www.rf-power.net)從1984年開始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz),1985年研制成功,獲得“六五”攻關(guān)榮譽證書以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機與超精細(xì)刻蝕研究”項目二等獎。
從2010年開始受到極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(國家02重大專項)資金支持,研發(fā)晶體管射頻電源,2011年研發(fā)成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz),獲得第七屆國際發(fā)明展覽會銀獎與第七屆北京發(fā)明創(chuàng)新大賽金獎。
經(jīng)過二十多年的發(fā)展完善,產(chǎn)品的性能不斷提高,規(guī)格齊全,年銷售電子管與晶體管射頻源占國內(nèi)市場份額的70%以上。
目前射頻電源組分為三個部門:產(chǎn)品研發(fā)部,產(chǎn)品生產(chǎn)部,產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部。
產(chǎn)品研發(fā)部:有專業(yè)研發(fā)人員7人,其中碩士及以上比例100%,具有教授級職稱2人,具有博士學(xué)歷3人,從清華大學(xué),中科院電工所,中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)引進資深射頻技術(shù)與自動控制專家3人,目前已建立起一支由高級研發(fā)顧問**導(dǎo)的國際化研發(fā)人才團隊。
產(chǎn)品生產(chǎn)部:有專業(yè)技術(shù)工程師17人,具有500平方專業(yè)射頻電源生產(chǎn)與測試車間(可以進行ESD,EMC等測試),年生產(chǎn)能力達(dá)3000臺套。
產(chǎn)品推廣與售后服務(wù)部:有專業(yè)推廣銷售人員4人,專業(yè)售后服務(wù)人員2人,其中碩士及以上比例100%。
目前開發(fā)成熟的電子管與晶體管射頻電源產(chǎn)品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規(guī)格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩(wěn)流源與自動匹配器。
射頻電源廣泛應(yīng)用于等離子體研究,集成電路工藝設(shè)備,太陽能光伏工業(yè),LED制程,薄膜生長,感應(yīng)加熱,醫(yī)療**域的消毒與理療,等離子清洗等**域。
產(chǎn)品現(xiàn)已售往北京、上海、杭州、蘇州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的幾十所高校、科研單位及半導(dǎo)體設(shè)備廠等高技術(shù)公司,得到用戶的一致好評。
