技術(shù)參數(shù)  
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電壓  
輸入：208-240VAC,20A,50/60Hz,單相(<3200W)  
輸出：0-8VAC（可調(diào)）zui大電流：400A（可調(diào)）  
zui大功率：4000W（包括真空泵）  
真空腔體  
不銹鋼腔體：280mmID.x375mmH，腔體內(nèi)壁做了電拋光處理  
有一個(gè)150mm的觀察窗口（采用無氧銅密封圈密封）  
一個(gè)RF-150法蘭，便于放入樣品。  
一個(gè)KF-40法蘭,可與真空泵相連接  
四個(gè)CF-35法蘭，便于安裝真空計(jì)、電極和其他用途備用  
真空泵  
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儀器中包括一臺(tái)高抽速的渦輪分子泵和前級(jí)泵  
前級(jí)泵抽速：600L/S  
真空度：5.0x10-6torr（泵開啟后40分鐘）  
極限真空度：5.0x10-7torr（烘烤溫度為60-80℃）  
漏氣率：5.0x10-7Pa./S  
蒸發(fā)加熱源樣品臺(tái)  
5個(gè)水冷電極安裝在腔體底部，可支持4個(gè)鎢加熱舟  
每個(gè)鎢舟上面安裝有可移動(dòng)的擋板，所以實(shí)驗(yàn)時(shí)可以防止各物料之間的污染，樣品臺(tái)安裝在真空腔體**部，直徑為150mm  
樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)和加熱，旋轉(zhuǎn)速度0-20rpm，加熱zui高溫度600℃  
蒸發(fā)源與樣品臺(tái)的距離為250mm  
測(cè)厚儀  
一個(gè)高分辨度的薄膜測(cè)厚儀安裝在腔體內(nèi)部  
測(cè)量精度為：1.0Å  
循環(huán)水冷機(jī)  
儀器使用過程中需要通冷卻水，為了節(jié)約用水，強(qiáng)烈建議使用循環(huán)水冷機(jī)  
所需水流量>15L/min  
控制單元  
真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)  
控制單元和真空腔體**立分開，以便于操作  
外形尺寸  
L600mm×W860mm×H1500mm  
凈重  
600kg  
質(zhì)保  
一年質(zhì)保期，終生維護(hù)  
質(zhì)量認(rèn)證  
CE認(rèn)證
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