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KRI 考夫曼射頻離子源RFICP220 制備 YIG 薄膜

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品牌: KRI
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所在地: 上海
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最后更新: 2023-06-09 10:00
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伯東企業(上海)有限公司
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釔鐵石榴石鐵氧體 (YIG) 是一種在室溫中廣泛應用的亞鐵磁性材料, 由于其鐵磁共振線寬窄、電阻率高、高頻損耗小以及具有較高的法拉第旋光效率和較低的傳播損耗, 是一種具有潛在應用價值的磁性材料, 不僅應用于現代電子工業及信息產業的微波器件中,如環形器、隔離器等,而且在非互易波導器件、集成光學器件和磁光記憶**域都擁有巨大的應用前景, 因此被廣泛研究.

 

陜西某實驗室采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220  射頻磁控濺射沉積方法在 SrTiO3基片上制備 YIG 薄膜, 研究不同濺射參數對薄膜表面形貌、微觀結構和磁性能的影響.

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術參數:

離子源型號

RFICP220

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>800 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

20 cm Φ

離子束

聚焦,   平行,   散射

流量

10-40 sccm

通氣

Ar,   Kr,   Xe,   O2,   N2,   H2,   其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

30 cm

直徑

41 cm

中和器

LFN 2000

* 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量

KRI 射頻離子源 RFICP 220

射頻磁控濺射法是制備磁性薄膜**為常用的方法之一, 其**點是沉積溫度低,可以獲得均勻致密、大面積的薄膜,沉積過程中通過調節濺射功率、濺射氣壓、氧氬比和濺射時間等參數,從而改變薄膜厚度、晶粒尺寸, 得到高性能的薄膜材料.

 

結果表明:

在其他濺射參數不變的情況下, 薄膜的厚度隨濺射時間成正比增長; 在襯底溫度為500℃、濺射氣壓為1 Pa時, YIG 薄膜表面較致密, 晶粒大小均勻; 沉積薄膜的化學組分受氧分壓的影響較大, 與靶材成分相比有一定偏差. 濺射氣體為純氬氣時, YIG 薄膜的化學組分與靶材化學計量比接近, 制備的YIG薄膜中存在一定量的 Fe2+ 和氧空位; 當退火溫度為 750℃ 時, 在氧氣中熱處理 40 min, 形成純的 YIG 相,飽和磁化強度為134emu/cm3.

 

KRI 離子源的**特功能實現了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術的情況下是無法實現的.

 

因此,  該研究項目才采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 輔助濺射沉積工藝.

 

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵,  檢漏儀, 質譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品**的指定代理商.

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論,   請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅**生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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