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MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統

起訂量: 1 臺
價 格: 面議
品牌: QVI VIEW

X,Y,Z 行程 (mm):

300x300x25

產地:

美國

保修期:

1年

供貨總量: 100 臺
發貨期限: 自買家付款之日起 30 天內發貨
所在地: 廣東東莞市
有效期至: 長期有效
最后更新: 2025-01-13 09:31
關注人數: 1747
公司基本資料信息
東莞市天測光學設備有限公司
     [誠信檔案]
聯系人 張人雷(先生)      
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地區廣東 東莞市
地址廣東省東莞市中堂鎮北王西路華迅科技園8棟102室
您還可以:
  • 起訂量:
    1 臺
  • 品牌:
    QVI VIEW
  • X,Y,Z 行程 (mm):
    300x300x25
  • 產地:
    美國
  • 保修期:
    1年
  • 供貨總量:
    100 臺
  • 發貨期限:
    自買家付款之日起 30 天內發貨
  • 所在地:
    廣東東莞市

MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統。

 

主要技術參數:

 

◆    測量范圍(XYZ):標準:200×200×25mm;可選:300x300x25

◆    視場內測量精度:10nm(100X 鏡頭);Z軸ju jiao范圍:25 mm

◆    視場內測量范圍:0.5um~400um;

◆    視場內測量重復性(100x 物鏡):  晶圓上<0.010um(1δ); 

                                                   掩模板上0.005um(1δ);   

◆    承重:2kg

◆    標配鏡頭10x,可選鏡頭:5X, 20X, 50X, 100X

 

 

MicroLineTM 300是一款高性能測量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設備等關鍵尺寸的自動化測量系統。該系統配備了高質量光學顯微鏡和精密移動平臺,可對200mm的晶圓上0.5μm到400μm的特征尺寸進行全自動的精密視場測量。

 

n  200 x200mm精密X-Y平臺

n  基于視覺的自動ju jiao獲得某佳影像質量

n  自動照明可編程光強

n  用于測量透明層、不規則邊緣的線、厚膜等的強勁性能

n  完全可編程的序列,包括自動ju jiao和關鍵尺寸測量

n  電動的6目物鏡轉換器,軟件控制

n  可選的透射照明

技術規格:

- 測量行程: 200 x 200 x25mm(XYZ)

- 平臺運行: 交叉滾軸手動同軸定位和快速釋放

- 視場內的測量精度: 0.010μm (用100x物鏡)

- 特征尺寸: 視場內0.5μm - 400μm

- FOV測量重復性: <0.010μm on wafers (用100x物鏡)

<0.005μm on photomasks (用100x物鏡)

- 照明: 石英鹵素燈, 反射光

      自動照明

- 低噪音CCD VGA格式攝像頭

- 圖像處理60幀每秒

MicroLine 300的典型應用包括:

l  晶圓

l  光罩

l  MEMS

l  微型組件

測量類型:

n  關鍵尺寸:

線寬  Linewidth

節距  Pitch

間隙  Spacing

n  Overlay

            Multi-layer registration

Box in box

Circle

Edge roughness

Butting error

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