河北某大學(xué)研究室為了研究磁控濺射時(shí)間和氮?dú)饬髁繉?duì) ZrN 薄膜色度的影響, 采用 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP380 輔助在鋁表面濺射沉積ZrN 薄膜

KRI 射頻離子源 RFICP380 技術(shù)參數(shù):

KRI 離子源的**特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能, 增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的.

試驗(yàn)結(jié)論:

隨著磁控濺射時(shí)間的增長(zhǎng), 薄膜的亮度在減少, 黃藍(lán)值在 3 min時(shí)出現(xiàn)**大值, 說(shuō)明鍍膜時(shí)間在 3 min 時(shí)**接近黃色, 紅綠值波動(dòng)比較大; 而氮?dú)饬髁吭?/span> 13~18 sccm 內(nèi), 薄膜顏色呈金黃色.

伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó)HVA 真空閥門, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品**的指定代理商.

若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

上海伯東: 羅女士                               臺(tái)灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!