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微控擴散爐

起訂量: 面議
價 格: 面議
品牌: 福潤德
供貨總量: 面議
發貨期限: 自買家付款之日起 3 天內發貨
所在地: 山東青島市
有效期至: 長期有效
最后更新: 2024-09-20 09:12
關注人數: 1062
公司基本資料信息
青島福潤德微電子設備有限公司
     [誠信檔案]
聯系人 顏廷福(先生) 業務員     
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地區山東 青島市
地址青島市城陽區北萬工業園
您還可以:
  • 品牌:
    福潤德
  • 發貨期限:
    自買家付款之日起 3 天內發貨
  • 所在地:
    山東青島市
擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業,對所加工的硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統、 控制系統、超凈化操作系統等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。

擴散爐技術指標:
可處理硅片尺寸:2—12英寸
外型形式:臥式1—4管結構
工作溫度:200℃—1300℃
恒溫區長度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
單點溫度穩定性、重復性:≤±1℃/24h
溫度斜變:可控升溫速率15℃/min
可控降溫速率:5℃/min
送片裝置:手動推拉
氣路系統:1—5路工藝氣體/管
氣體控制:手動浮子流量計
控制方式:程控

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